alat ieu adopts non-kontak, optik fase-shifting métode pangukuran interferometric, teu ngaruksak beungeut workpiece salila pangukuran, bisa gancang ngukur grafik tilu diménsi permukaan mikro-topografi rupa workpieces, sarta nganalisis jeung ngitung ukuran. hasilna.
Panjelasan Produk
Fitur: Cocog jeung ngukur roughness beungeut rupa blok gauge jeung bagian optik; jero reticle tina pangawasa jeung dial; ketebalan palapis tina struktur alur grating jeung morfologi struktur wates palapis; beungeut disk magnét (optik) jeung pangukuran Struktur sirah magnét; kakasaran permukaan wafer silikon sareng pangukuran struktur pola, jsb.
Kusabab akurasi pangukuran anu luhur tina alat, éta gaduh ciri non-kontak sareng pangukuran tilu diménsi, sareng ngadopsi kontrol komputer sareng analisis gancang sareng itungan hasil pangukuran. Instrumén ieu cocog pikeun sadaya tingkat unit uji sareng pangukuran, kamar pangukuran perusahaan industri sareng pertambangan, bengkel pamrosesan presisi, sareng ogé cocog pikeun Institusi paguron luhur sareng lembaga panalungtikan ilmiah, jsb.
Parameter téknis utama
Kisaran pangukuran jerona henteu rata mikroskopis permukaan
Dina permukaan anu terus-terusan, nalika henteu aya parobahan ngadadak jangkungna langkung ageung ti 1/4 panjang gelombang antara dua piksel anu padeukeut: 1000-1nm
Lamun aya mutasi jangkungna leuwih badag batan 1/4 tina panjang gelombang antara dua piksel padeukeut: 130-1nm
Repeatability pangukuran: δRa ≤0.5nm
pembesaran lénsa obyektif: 40X
Bukaan numeris: Φ 65
Jarak gawé: 0.5mm
Widang alat panempoan Visual: Φ0.25mm
Poto: 0,13 × 0,13 mm
Alat ngagedekeun Visual: 500×
Poto (ditingali ku layar komputer) -2500×
Asép Sunandar Sunarya pangukuran panarima: 1000X1000
Ukuran piksel: 5.2 × 5.2µm
Waktos pangukuran sampling (scanning) waktos: 1S
Reflektifitas eunteung standar instrumen (luhur): ~50%
Pantulan (rendah): ~ 4%
Sumber cahaya: lampu pijar 6V 5W
panjang gelombang filter gangguan héjo: λ≒530nm
Satengah rubak λ≒10nm
Angkat mikroskop utama: 110 mm
Méja angkat: 5 mm
Rentang gerak dina arah X jeung Y: ~ 10 mm
rentang rotational of worktable: 360 °
rentang Dengdekkeun meja kerja: ± 6 °
Sistem komputer: P4, 2.8G atawa leuwih, tampilan layar datar 17 inci kalawan 1G atawa leuwih memori